一种用于辉光放电表面处理中的等离子体探针诊断装置

摘要

本发明涉及采用辉光放电表面处理中等离子体的探针诊断的装置。该装置由不锈钢管套在陶瓷管外，弹簧支撑在不锈钢管和陶瓷管之间，陶瓷管内穿进探针导线，探针头一端与导线焊接，另一端穿出陶瓷管、不锈钢管的前端的小孔的探针，探针伸入在源极和阴极之间的放电等离子体区域中，支撑体的一端固定在真空室壁上，另一端用旋盖固定连接空心推杆，从陶瓷管内穿出的探针导线穿进推杆并穿出，再通过探针电源和伏安特性曲线记录仪连接。