一种固体材料二次电子发射系数的智能测试装置

摘要

本实用新型的一种固体材料二次电子发射系数的智能测试装置，包括机械系统、电气控制系统和分析检测系统；机械系统包括真空室、真空泵、电子枪、电子收集装置和加热装置，以提供真空环境并且产生并收集二次电子；所述电气控制系统包括电源、可编程控制器和温控电路，可编程控制器通过数字量模拟量转换模块控制电源电压大小；所述分析检测系统包括工控机、数字量模拟量转换模块、二路示波卡和触摸控制屏，工控机上安装有组态王，用于存储和分析处理探测到的电子信号，并显示所测固体材料的二次电子发射系数与电子枪出射电子能量之间的关系曲线。本实用新型可以较好地满足工业防静电设计、工程选材及静电预测对固体材料二次电子发射系数测量的需要。