带电粒子线装置、带电粒子线装置的调整方法及试样的检查或试样的观察方法

摘要

本发明提供一种带电粒子线装置，其通过使用于分离大气压空间与减压空间的薄膜周边部的结构最适化，能在大气环境或气体环境中观察试样（6）。该带电粒子线装置具备：真空排气泵（4），其对第一机箱（7）进行排气；检测器（3），其在第一机箱（7）内检测由照射得到的带电粒子线；隔壁部，其构成为至少第一机箱（7）或第二机箱（8）的任一部分、或不同体，对第一机箱（7）内与第二机箱（8）内之间的至少一部分进行分隔；开口部（10a），其设在隔壁部上，带电粒子照射部侧的开口面积比试样（6）侧的开口面积大；以及薄膜（13），其覆盖开口部（10a）的试样（6）侧，使一次带电粒子线及带电粒子线透过或通过。