非对称电极Y分叉波导数字光开关

摘要

本发明公开了一种非对称电极Y分叉波导数字光开关。包括制作在衬底内的Y分叉波导，波导上覆有SiO₂缓冲层，在一分支波导段SiO₂缓冲层上装有信号电极和地电极，在另一分支波导段SiO₂缓冲层上装有另一地电极和另一信号电极，两信号电极相连，两地电极相连。将其中的一信号电极和地电极延长至Y分叉波导的过渡区，其中信号电极一边与过渡区波导的中线重合，形成非对称电极。本发明在传统对称电极的基础上提出非对称电极设计，有效地提高了开关特性，通过计算机仿真模拟，得到TM模开关电压6.5V左右时串扰＜-26dB，比传统对称式电极结构串扰减小了近6dB，并且开关电压在6～10V之间串扰＜-20dB，器件选用Ti扩散LiNbO₃材料可以获得较高的开关速度和较低的插入损耗。