公开/公告号CN201607353U
专利类型实用新型
公开/公告日2010-10-13
原文格式PDF
申请/专利权人 天津天女化工集团股份有限公司;
申请/专利号CN200920250648.9
申请日2009-11-20
分类号
代理机构天津才智专利商标代理有限公司;
代理人吕志英
地址 300300 天津市东丽区津赤路9号
入库时间 2022-08-21 23:12:58
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-01-13
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01N1/28 授权公告日:20101013 终止日期:20141120 申请日:20091120
专利权的终止
2010-10-13
授权
授权
机译: 用于半导体晶片的衬里层厚度测量装置,具有电子检测器,该电子检测器检测分析仪区域中的电子并发射分析仪的多个位置的信号,并且单元接收信号以确定层厚度
机译: 总层厚度检测装置,充电装置,图像形成装置,总层厚度检测方法和用于总层厚度检测的计算机可读介质存储程序
机译: 总层厚度检测装置,充电装置,图像形成装置,总层厚度检测方法和总层厚度检测程序