化学沉铜废液中活化剂的回收再利用系统

摘要

本实用新型公开了一种化学沉铜废液中活化剂的回收再利用系统，包括：除油单元、微蚀单元、预浸/活化单元、活化剂槽、活化剂回收槽和沉铜槽。本实用新型通过在预浸/活化单元进行活化反应的活化剂槽上增加一个活化剂回收槽，实现了预浸/活化单元反应后板子所残留带活化剂带出的废液进行统一排放到活化剂回收槽中，从而使PCB板上残留的药水能够充分滴干净，避免了后续二级逆流漂洗单元清洗水的污染。与现有技术相比，本实用新型在不降低产能的情况下，节约了大量活化剂，降低了废水的处理成本。