法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2013-02-27
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G02B26/10 授权公告日:20100609 终止日期:20111224 申请日:20081224
专利权的终止
2010-06-09
授权
授权
机译: 用于例如晶片的晶片布置的微镜布置。激光投影具有用于微镜光学耦合的静态偏转镜,其中偏转镜相对于基板晶片表面给定的平面弯曲
机译: 视频投影仪和背投电视中使用的反射镜芯片包括形成在反射镜元件下方的压电元件,该压电元件根据控制信号进行旋转并充当驱动微镜元件的驱动器
机译: 用于致动反射镜元件的芯片,在反射镜元件下方装有压电元件,以便根据控制信号进行旋转,作为驱动微反射镜元件的驱动器,用于视频投影仪和背投电视设备