法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2012-03-21
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):B23Q3/18 授权公告日:20100224 终止日期:20110112 申请日:20090112
专利权的终止
2010-02-24
授权
授权
机译: 用于无间隙地固定轴元件的定位装置,即螺钉,在保持部分的凹部中,具有与夹持元件中的长孔的内壁保持连接的固定装置,并且螺钉布置在孔的枢转轴线中
机译: 光学元件镜子,定位装置,例如微光刻物镜,具有支撑单元和光圈单元部件,这些部件具有在主动定位过程中可拆卸的位移支撑
机译: 压电致动器和具有位移计的压电元件以及使用该压电元件的定位装置