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一种硅材料无盲点化学清洗机构

摘要

本实用新型涉及一种硅材料无盲点化学清洗机构,包括至少一对静横梁和动横梁、至少一对可交替接触硅材料的静支架和动支架以及位于动横梁两侧的驱动装置,所述的静支架、动支架分别固定于静横梁、动横梁上,所述的静支架、动支架上均设有数个用于支撑硅材料的V型槽,所述的驱动装置与动横梁传动连接。与现有技术相比,本实用新型的一个优点是结构简单,它利用原来的静支架和横梁,只是增加了一组动支架和相应横梁,各部件方便进行防腐蚀保护,传动部分位于两侧,可以避开腐蚀性气体,同时也便于维护;第二个优点是操作方便,由于没有转盘支架,操作工只是需要把细长的工件依次放在水平的静支架的V型凹槽上就可以了,取出同样方便。

著录项

  • 公开/公告号CN201394557Y

    专利类型

  • 公开/公告日2010-02-03

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 上海思恩电子技术有限公司;

    申请/专利号CN200920069613.5

  • 发明设计人 倪党生;王亦天;

    申请日2009-03-30

  • 分类号B08B3/08(20060101);

  • 代理机构31225 上海科盛知识产权代理有限公司;

  • 代理人赵志远

  • 地址 200083 上海市虹口区中山北一路705号702室

  • 入库时间 2022-08-21 23:07:20

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2015-05-20

    未缴年费专利权终止 IPC(主分类):B08B3/08 授权公告日:20100203 终止日期:20140330 申请日:20090330

    专利权的终止

  • 2013-07-10

    专利权的转移 IPC(主分类):B08B3/08 变更前: 变更后: 登记生效日:20130617 申请日:20090330

    专利申请权、专利权的转移

  • 2010-02-03

    授权

    授权

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