300mm立式氧化炉微环境压力控制系统

摘要

本实用新型公开了一种300mm立式氧化炉微环境压力控制系统，设有与微环境连通的风机，其进气管通过一个流量计MFC和一个自控阀门PV2与工艺气源连通；风机还通过一个自控阀门PV1直接与气源连通，并通过一个自控阀门PV3与厂总排气口连通；设有一个压力计与微环境连通，另外设有一个压差计，该压差计的进气管与微环境内的炉体排气口连通，其排气管与厂总排气口连通；微环境还设有一个自控阀门PV4控制的排气管；自控阀门PV1、PV2、PV3、PV4与一个可编程控制器PLC控制连接；压力计和压差计与PLC信号连接。本实用新型适用于立式氧化炉炉内微环境压力控制，结构完善，控制灵活，能保证加工质量。