首页> 中国专利> 适用于激光共聚焦测量装置的光学窗口片

适用于激光共聚焦测量装置的光学窗口片

摘要

本实用新型公开了一种适用于激光共聚焦测量装置的光学窗口片,该光学窗口片包括:光学玻片(101);蒸镀在光学玻片(101)正面的正面增透膜(102);以及蒸镀在光学玻片(101)背面的背面增透膜(103)。该光学窗口片使用高强度、低折射率的材料制成,双面平行且双面镀增透膜,减小了激光共聚焦测量装置的测量光束透过光学窗口片进行位移测量时的系统误差,可以满足对密闭环境腔室内的样品进行非接触式光学测量的需求。

著录项

  • 公开/公告号CN201383013Y

    专利类型

  • 公开/公告日2010-01-13

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 中国科学院半导体研究所;

    申请/专利号CN200920106986.5

  • 申请日2009-04-15

  • 分类号G02B3/00(20060101);G02B1/10(20060101);G02B1/02(20060101);G01B11/02(20060101);G01B11/24(20060101);

  • 代理机构11021 中科专利商标代理有限责任公司;

  • 代理人周国城

  • 地址 100083 北京市海淀区清华东路甲35号

  • 入库时间 2022-08-21 23:07:01

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2014-06-11

    未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G02B3/00 授权公告日:20100113 终止日期:20130415 申请日:20090415

    专利权的终止

  • 2010-01-13

    授权

    授权

相似文献

  • 专利
  • 中文文献
  • 外文文献
获取专利

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号