玻璃钢真空容器等离子体试验系统

摘要

本实用新型提供了一种本玻璃钢真空容器等离子体环境试验系统，主要包括真空容器，等离子源，抽气子系统；真空容器包括有真空封盖大门，容器体，真空封盖大门通过铰链联接到容器体上；容器体的另一端端部中心部位通过阀门与等离子体源连接，端部的上方有供液氮流出热沉的出口装置，正下部有供液氮进入热沉的进口装置；容器体上方有用于各种测量使用的法兰接口，容器体的中间水平位置上有用于观察内部环境的玻璃窗；真空容器的下部有用于支撑的支座，容器采用卧式方式固定在支座上。本实用新型不仅能获得清洁真空环境，而且满足了在10SCCM流量下获得压力≤1.3×10