一种高浓度臭氧产生装置

摘要

一种高浓度臭氧产生装置属于气体放电物理学、等离子体物理和环境科学等技术领域。其特征在于接地极、放电极同时进行水冷却，放电间隙为超窄间隙，间距为0.04～0.25mm；间隙中放电通道中电离放电折合电场强度达到450～1500 Td，电子平均能量达到10～24eV；并采用电场参数调控氧分子离解、电离等反应生成活性粒子的浓度，进而控制了臭氧再分解，臭氧浓度达到160～420 g/Nm