等离子热处理渗氮炉的脉冲电源自动控制系统

摘要

一种等离子热处理渗氮炉的脉冲电源自动控制系统，包括大功率数字模块控制直流电源、脉冲形成控制器和综合控制单元。所述大功率数字模块控制直流电源包括：三相全控整流桥、同步电源信号电路和带十六位微处理器的数字控制模块；所述脉冲形成控制器包括：储能滤波电路、IGBT斩波器电路、驱动电路、脉冲控制电路、导通比给定和面板；所述综合控制单元包括：微机控制可编程控制器、工艺参数给定、弧光形成判断控制电路、霍尔元件取样电流变化信号电路、电阻取样电压变化信号电路、热电偶温度变化信号电路、薄膜压力变送器压力变化信号电路和质量流量控制器。本实用新型实现了离子渗氮工艺过程自动化，使离子渗氮处理零件表面渗层的质量得到保证。