一种用于扫描探针显微镜的压电陶瓷扫描器

摘要

本实用新型涉及一种用于扫描探针显微镜的压电陶瓷扫描器，主要包括外壳、压电陶瓷管I、压电陶瓷管II、导电基座和塑胶导线，所述压电陶瓷管I为控制XY方向的压电陶瓷管，压电陶瓷管I的内外表面分别涂有相互对应的4个导电层，分成4组；所述压电陶瓷管I通过绝缘套与压电陶瓷管II相连，所述压电陶瓷管II为控制Z方向的压电陶瓷管，压电陶瓷管II的内外表面分别涂有导电层，所述导电基座中央置放磁粒，所述塑胶导线自压电陶瓷管的不同导电层引出。本实用新型的有益效果为：克服了现有产品XY方向与Z方向寄生电容存在而引起的相互耦合，影响对压电陶瓷扫描器的控制精度下降的不足。