扫描探针显微镜单管式扫描器结构误差的研究

摘要

单管式扫描器的结构误差是影响扫描探针显微镜测量精度的主要误差因素之一。本文对单管式扫描器的结构误差，主要包括交叉耦合误差、非正交误差以及扫描器形状误差，进行了实验和理论研究，并提出了一些相应的补偿措施。