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一种热驱动变形透射电镜载网

摘要

一种热驱动变形透射电镜载网属于纳米器件领域。本实用新型拟解决载网只能通过电子束辐照进行变形,且提供应力有限的问题。本实用新型所提供的载网包括骨架(1)和蒸镀在骨架(1)上的支持膜(2),其特征在于,还包括金属薄膜A(3)和金属薄膜B(4);其中,金属薄膜A(3)蒸镀在支持膜(2)之上,金属薄膜B(4)蒸镀在金属薄膜A(3)之上,且金属薄膜A(3)的热膨胀系数要大于金属薄膜B(4)的热膨胀系数,二者比弯曲大于10/10

著录项

  • 公开/公告号CN201191595Y

    专利类型

  • 公开/公告日2009-02-04

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 北京工业大学;

    申请/专利号CN200820079780.3

  • 发明设计人 韩晓东;郑坤;张泽;

    申请日2008-04-07

  • 分类号

  • 代理机构北京思海天达知识产权代理有限公司;

  • 代理人张燕慧

  • 地址 100022 北京市朝阳区平乐园100号

  • 入库时间 2022-08-21 23:01:49

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2018-05-01

    专利权有效期届满 IPC(主分类):H01J37/20 授权公告日:20090204 申请日:20080407

    专利权的终止

  • 2009-02-04

    授权

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