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一种制备炭/炭构件的新型液相气化渗透沉积装置

摘要

一种制备炭/炭构件的新型液相气化渗透沉积装置,其包括炉底上固定炉体,炉体上装配可开闭的炉盖,炉盖上安装了冷却回流系统,上述结构组成沉积装置的主体;感应线圈安装在炉体内,并连接感应加热电源系统,感应加热电源系统连接控制系统,石墨发热体和炭/炭构件预制体紧密连接,放置在感应线圈中央并固定在炉底上的支架上,在冷却回流系统上安装在线气体检测系统,液态前驱体供给和回流系统与过滤器和炉体相连。利用该装置制备的炭盘,其制备周期为25~30小时,提高了生产效率,降低了生产成本,而且装置能够在常压下运行,能量和前驱体利用率高,安全性能好。

著录项

  • 公开/公告号CN201154987Y

    专利类型

  • 公开/公告日2008-11-26

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 北京航空航天大学;

    申请/专利号CN200720173117.5

  • 发明设计人 罗瑞盈;章劲草;吴小文;宋国英;

    申请日2007-09-13

  • 分类号

  • 代理机构北京慧泉知识产权代理有限公司;

  • 代理人王顺荣

  • 地址 100083 北京市海淀区学院路37号北京航空航天大学理学院

  • 入库时间 2022-08-21 23:00:51

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2012-11-14

    未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C16/26 授权公告日:20081126 终止日期:20110913 申请日:20070913

    专利权的终止

  • 2008-11-26

    授权

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