应用于平板电器的单块溅射靶组件及使用其的溅射装置

摘要

本实用新型包含用于在大面积衬底上沉积材料的单块溅射靶组件。溅射靶组件可以包含在单块结构中的溅射靶和靶托。由于溅射靶和靶托作为单块结构，则不需要粘接。另外，冷却通道可以埋到单块结构中，使得冷却液可以在溅射靶组件中流动，从而不需要在溅射靶组件后面设置分立的冷却组件。