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真空镊子用吸附片和真空镊子

摘要

本实用新型提供一种不会遮蔽操作员的视野而可使吸附片的插入尺寸恒定的真空镊子用吸附片和真空镊子。包括:镊子主体部,在内部形成了吸引通路;吸附片,与连接在镊子主体部前端的平板基板接触;吸附片的表面呈具备了吸引口的平面状,在其背面,包括突出于背面一侧、相互隔开配置的多个凸起部,在其内部,包括吸附片表面的吸引口和与真空镊子主体内部的吸引通路连通的内部吸引通路。

著录项

  • 公开/公告号CN201122586Y

    专利类型

  • 公开/公告日2008-09-24

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 新日本无线株式会社;

    申请/专利号CN200720126520.2

  • 发明设计人 小柳和真;

    申请日2007-08-08

  • 分类号

  • 代理机构北京同达信恒知识产权代理有限公司;

  • 代理人郭润湘

  • 地址 日本东京都

  • 入库时间 2022-08-21 23:00:03

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2017-09-26

    专利权有效期届满 IPC(主分类):H01L21/683 授权公告日:20080924 申请日:20070808

    专利权的终止

  • 2008-09-24

    授权

    授权

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