公开/公告号CN201060174Y
专利类型
公开/公告日2008-05-14
原文格式PDF
申请/专利权人 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;
申请/专利号CN200720069735.5
申请日2007-05-11
分类号G01N23/227(20060101);
代理机构31002 上海智信专利代理有限公司;
代理人王洁
地址 201203 上海市浦东新区张江路18号
入库时间 2022-08-21 22:58:21
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-06-23
专利权有效期届满 IPC(主分类):G01N23/227 授权公告日:20080514 申请日:20070511
专利权的终止
2013-02-27
专利权的转移 IPC(主分类):G01N23/227 变更前: 变更后: 登记生效日:20130118 申请日:20070511
专利申请权、专利权的转移
2008-05-14
授权
授权
机译: 芯片截面观察夹具
机译: 用于观察半导体集成电路截面的夹具
机译: 用于观察IC芯片横截面的标本准备夹具