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公开/公告号CN103532008B
专利类型发明专利
公开/公告日2016-04-20
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院半导体研究所;
申请/专利号CN201310504071.0
发明设计人 张锦川;刘峰奇;闫方亮;姚丹阳;王利军;刘俊岐;王占国;
申请日2013-10-23
分类号
代理机构中科专利商标代理有限责任公司;
代理人宋焰琴
地址 100083 北京市海淀区清华东路甲35号
入库时间 2022-08-23 09:38:27
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-04-20
授权
2014-02-26
实质审查的生效 IPC(主分类):H01S 5/12 申请日:20131023
实质审查的生效
2014-01-22
公开
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