一种大功率微波脉冲圆波导探测结构及方法

摘要

本发明设计的大功率微波脉冲圆波导探测结构以强电场在半导体内部的热载流子效应为基本工作原理，依据半导体探测芯片的体电阻变化实现圆波导内不同模式的大功率微波脉冲的实时探测。探测结构由圆波导和半导体探测芯片组成。可承受微波脉冲的峰值功率达到百MW，响应速度小于1ns，探测芯片加工及探测结构的集成难度较小。该探测结构适用于微波段大功率脉冲波源的在线实时探测、微波脉冲的极化方向监测和模式对称性分析等。