偏置电流型扫描隧道谱仪及扫描隧道显微镜

摘要

本实用新型偏置电流型扫描隧道谱仪及扫描隧道显微镜，特征是探针架固定于Z定位器或XYZ定位器一端、样品架固定于基座，探针架和样品架位置可互换，固定在探针架上的探针指向样品架上的样品，电流源连接探针和样品构成的隧道结，该隧道结电压信号输入到缓冲器，由该缓冲器给出输出信号。调节样品－探针间距Z时可测V－Z谱；用交流电流源时可测dV/dI谱；用XYZ定位器时可测等高电压图像。如接入反馈控制器则可测样品恒流等电压图像。本实用新型利用了隧道结本身既有高阻特性可放大弱电流，且又寄生电容较小可提高带宽，使测量带宽和增益同时获得提高，并能改善灵敏度和信噪比；测量V－Z谱也比现有扫描隧道显微镜更简单、精确。