离子注入机非均匀磁场边缘特性校正器

摘要

本实用新型公开了一种离子注入机非均匀磁场边缘特性校正器，包括：非均匀磁场入口上校正磁极，非均匀磁场入口下校正磁极，非均匀磁场出口下校正磁极，非均匀磁场出口上校正磁极，非均匀磁场上磁极，非均匀磁场下磁极，非均匀磁场上励磁线圈，非均匀磁场磁轭，非均匀磁场下励磁线圈。非均匀磁场的边缘磁场外层，产生另一非均匀磁场，其非均匀分布的规律和原非均匀磁场相反，磁场方向相反，而其边缘磁场特性相近，因此两者叠加后的边缘磁场较原非均匀磁场就有很大的改善，更加接近理想设计的边缘分布。