波长可变滤波器、波长可变滤波器模块及光谱分析器

摘要

本发明的目的在于提供可以在降低驱动电压的同时，对宽范围的波长的光使用的光学设备、波长可变滤波器、波长可变滤波器模块及光谱分析器。本发明的光学设备(1)为可以通过在驱动电极和可动部(21)之间产生电位差，而在它们之间产生静电引力，使可动部(21)的位置及/或姿势变化，在固定反射膜(35)和可动反射膜(25)之间反复进行光反射，产生光干涉，并向外部射出与它们之间距离对应的波长的光的结构，驱动电极具有隔着间隔与可动部(21)的固定反射膜(35)侧的面对置的第一驱动电极(33)、和隔着间隔与可动部(21)的位于可动反射膜(25)相反侧的面对置的第二驱动电极(43)。