高效大功率多波长隧道级联多有源区垂直腔面发射激光器

摘要

高效大功率多波长隧道级联多有源区垂直腔面发射激光器，属半导体光电子领域，如图所示，包括有上分布布拉格反射镜(1)，下分布布拉格反射镜(6)，衬底(7)，特征在于还包括在上、下分布布拉格反射镜(1)和(6)之间的N个重复排列的有源区部分(8)和N－1个反向隧道结(5)的重复结构构成大有源区部分(10)，其中N是传统的有源区部分(8)的在本实用新型的垂直腔面发射激光器的数目，其中有源区部分(8)p型限制层(2)、增益区(3)、n型限制层(4)构成。解决了统垂直腔面发射激光器材料生长和器件制备的工艺难度，成本高，成品率低，且随有源区体积减小，效率下降，以及激射波长为单一波长，无法在同一只器件中获得多个波长。