公开/公告号CN2733414Y
专利类型
公开/公告日2005-10-12
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院上海光学精密机械研究所;上海微电子装备有限公司;
申请/专利号CN200420090833.3
申请日2004-10-10
分类号G03H5/00;G01N23/00;G01B9/02;
代理机构31213 上海新天专利代理有限公司;
代理人张泽纯
地址 201800 上海市800-211邮政信箱
入库时间 2022-08-21 22:49:24
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2010-02-10
专利权的终止(未缴年费专利权终止)
专利权的终止(未缴年费专利权终止)
2005-10-12
授权
授权
机译: 全息干涉仪多色和通过全息干涉法显示制品中光程变化的方法
机译: 使用光程差的非线性变化来测量物理值(例如尺寸,折射率,温度,化学成分等)的分频干涉仪
机译: 借助干涉仪测量光程长度变化的设备