法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2007-07-04
专利权的终止未缴年费专利权终止
专利权的终止未缴年费专利权终止
2005-05-11
授权
授权
机译: 用于投影仪的投影光学器件,具有集成在光学器件壳体中的干涉滤光片,以及滤光片夹紧机构,该滤光片夹紧机构包括保持轨,该保持轨被设置用于保持例如电动机的马达。步进电机
机译: 包括用于检测投影光学系统的光学特性的变化的光学特性检测器的投影曝光设备及其使用方法
机译: 用于物体表面的三维测量的方法,包括执行点图案的投影和根据投影进行点图案的光学检测,然后传输光学检测所得的数据量