一种用于扫描探针显微镜的压电陶瓷扫描器

摘要

本实用新型涉及扫描探针显微镜,特别是扫描探针显微镜所用的压电陶瓷扫描器。本实用新型包括具有安装平台的壳体、位于扫描端的样品座,磁钢,压电陶瓷管位于所述壳体的内筒中,两端套有使其与壳体及样品座绝缘的绝缘环,在扫描端由密封胶密封,导线自所述压电陶瓷管中引出,其特征在于所述壳体自安装平台向与扫描端相对的方向轴向延长形成一延伸端,该延伸端可脱接地与具有中心导线穿孔的绝缘底座套接,所述压电陶瓷管下端的绝缘环与绝缘底座的底面上分别开有若干通孔。本实用新型通过结构的简单改变,不但满足了扫描管长度变化的适用范围,而且使压电陶瓷管内外腔的工作热气可以及时散出,从而保证了压电陶瓷使用性能的稳定性和使用寿命。