平面结构射频电感耦合天线及真空耦合窗

摘要

本实用新型是平面结构射频电感耦合天线及真空耦合窗。它由射频线圈、介质板、凝固体、反应刻蚀室壁、气体入口管、匹配器、反应室腔体、密封圈共同连接构成,其位置连接关系:射频线圈紧靠介质板上方、环氧树脂与氧化铝粉调成糊状将介质板周边和上方及射频线圈固化成一整体件,射频线圈两端口分别与进出水管相连并通过导线与匹配器相连经密封圈成真空密封连接,置于反应室腔体上方。本实用新型介质板面积大、厚度薄、易加工、耦合效率高、能产生高密度等离子体源、结构简单、成本低。