激光非接触式表面粗糙度与位移测量装置

摘要

本实用新型涉及一种激光非接触式表面粗糙度与位移测量装置。它由激光源、计算机系统、测量头架、入射光纤部分、接收反射光纤部分、面阵CCD摄像机、图像卡等组成,通过测量从被测工件表面反射回来的散射光能的分布确定被测工件表面粗糙度与位移值。既能测量平面工件,还可测量曲面工件。