一种质谱仪质量分析器内缓冲气体快速高精度连续控制方法

摘要

本发明涉及质谱仪技术领域，特别涉及一种质谱仪质量分析器内缓冲气体快速高精度连续控制方法，包括真空腔、离子捕获模块、脉冲阀、脉冲阀驱动模块、FPGA/MCU/DSP/ARM控制器模块，具体包括通过计算机设定所述离子捕获模块所需真空度M，并通过所述FPGA/MCU/DSP/ARM控制器模块将信号传送至所述离子捕获模块；通过AD采样模块读取所述真空腔内真空度，并与真空度M比对；根据比对结果启动或不启动所述脉冲阀进行真空度调节。本发明的质谱仪质量分析器内缓冲气体快速高精度连续控制方法，具有功耗低、测量灵敏度高、速度快、稳定性和可控性高、结构简单、应用范围广等特点。