法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-05-22
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01L1/00 授权公告日:20160413 终止日期:20190603 申请日:20140603
专利权的终止
2016-04-13
授权
授权
2016-04-13
授权
授权
2014-10-15
实质审查的生效 IPC(主分类):G01L1/00 申请日:20140603
实质审查的生效
2014-10-15
实质审查的生效 IPC(主分类):G01L 1/00 申请日:20140603
实质审查的生效
2014-09-10
公开
公开
2014-09-10
公开
公开
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机译: 薄膜材料残余应力测试结构及方法
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