微波晶体管金属化布线加固结构

摘要

一种微波晶体管金属化布线加固结构,属于微波晶体管制造技术领域。包含发射区、覆盖于发射区上的欧姆接触层,部分覆盖发射区并在欧姆接触层下部的绝缘层,覆盖于欧姆接触层上的阻挡层和覆盖于阻挡层上的上金属化层,其特征在于:距欧姆接触层引出部分边缘一定距离处有一横断该层的回流间隙,阻挡层通过回流间隙与绝缘层相接触。该结构能有效克服电迁徒现象的发生,提高器件寿命和可靠性。