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一种用于扫描探针显微镜的针尖与样品间距调节装置

摘要

本实用新型属于扫描探针显微镜领域,是一种针尖与样品间距调节装置。其中的细调元件是一个步进马达。其稳定性、重复性十分良好,使用方便、使用寿命长、具有互换性,可用于各种类型的扫描探针显微镜(如:STM)中。

著录项

  • 公开/公告号CN2326970Y

    专利类型

  • 公开/公告日1999-06-30

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 中国科学院上海原子核研究所;

    申请/专利号CN97242798.8

  • 发明设计人 胡钧;孙洁林;徐耀良;李民乾;

    申请日1997-12-02

  • 分类号G02B21/26;

  • 代理机构上海华东专利事务所;

  • 代理人沈能一

  • 地址 201800 上海市嘉定区新木桥

  • 入库时间 2022-08-21 22:39:15

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2008-03-12

    专利权的终止(专利权有效期届满)

    专利权的终止(专利权有效期届满)

  • 1999-06-30

    授权

    授权

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