一种新型柱状磁控阴极电弧蒸发源

摘要

本实用新型涉及一种柱状磁控阴极电弧蒸发源。该电弧源中的磁体沿阴极轴向呈螺旋线型布置。工作时，整个阴极表面放电均匀、刻蚀均匀，放电面积大，靶材利用率高，使用寿命长，可广泛用于各种真空镀膜装置中。