多功能全方位增强沉积型离子注入机

摘要

本实用新型提供一种多功能全方位增强沉积型离子注入机，它包括等离子体工件室(亦即真空室)以及与其相连的离子注入电源系统，等离子体产生系统，真空抽气系统，控制、测量系统，工作气体馈送系统和冷却系统组成。该装置通过热丝阴极放电、射频放电或利用合理的电磁场位形等多种方式产生金属等离子体。采用全线会切永磁壁有效约束等离子体、通过合理布置的多热丝和多孔送气系统等措施，可产生大体积的均匀等离子体。该机配备溅射靶和(或)蒸发靶，使该机除可以进行全方位离子注入改性外，还兼备涂层及离子增强沉积功能。