一种改进的微波等离子体炬装置及应用

摘要

本发明提供一种改进的微波等离子体炬装置，由外管、中管、内管、多孔同轴定心垫片、耦合环、耦合接头、调谐滑杆、调谐螺母、炬管气路转接头、气路接口螺柱及限位螺钉组成。本发明对传统MPT炬管调谐结构进行改进，实现了调谐螺母的原位旋转调节与调谐滑杆的升降功能分离，简化了与电动器件联动的难度，改进后的结构由于调谐螺母纵向位置不变降低了对调节窗口大小的要求，扩展了调谐螺母下面封闭空间的用途。最终实现调谐螺母的原位旋转调节与调谐滑杆的升降功能分离，易与步进电机通过齿轮啮合/皮带轮相连，实现电动自动反馈调谐功能。可应用于光谱仪等产品中，提高微波等离子体炬在光谱仪等产品中的自动化集成/控制程度。