首页> 中国专利> 用于测试声表面波谐振器的测试系统及其测试方法

用于测试声表面波谐振器的测试系统及其测试方法

摘要

本发明公开了用于测试声表面波谐振器的测试系统及其测试方法,其测试方法包括:在开启驱动设备时,电平转换器将驱动设备的输出电平转换成网络分析仪工作所需电平,使驱动设备与网络分析仪通信;在探针触接被测对象获取测试数据,并将所述测试数据发送给网络分析仪后;由所述网络分析仪对测试数据进行分析,并根据分析结果控制驱动设备进行连续测试、暂停测试或者停止测试。本发明实现了连续自动测试的功能,在提高了测试系统的自动化程度的同时,提高了工作效率,而且在测试时一键操作即可完成全部测试,基本实现无人操作测试系统,节省了人力成本。

著录项

  • 公开/公告号CN103700604B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2016-04-13

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 深圳华远微电科技有限公司;

    申请/专利号CN201310721858.2

  • 发明设计人 刘绍侃;霍俊标;张雪奎;

    申请日2013-12-24

  • 分类号H01L21/66(20060101);

  • 代理机构44268 深圳市君胜知识产权代理事务所;

  • 代理人王永文;刘文求

  • 地址 518125 广东省深圳市宝安区沙井街道庄村路5号

  • 入库时间 2022-08-23 09:38:09

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2016-04-13

    授权

    授权

  • 2014-04-30

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/66 申请日:20131224

    实质审查的生效

  • 2014-04-02

    公开

    公开

相似文献

  • 专利
  • 中文文献
  • 外文文献
获取专利

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号