多极网格离子发射加速器

摘要

本实用新型提供一种用于镀膜机上可与同轴磁控溅射靶配套使用的多极网格离子发射加速器，它利用金属环(1)和支撑环的两层金属杆(2)以及金属杆上及外围装有的发热装置(4)(5)和加速电极装置(3)构成一多极网格型离子发射加速器，在磁控溅射离子镀膜中起到离子发射加速及发热作用，以增强镀膜层与基体的结合强度及加快镀膜周期。由于本实用新型偏压采用电子—离子加速—离子结合形式，使基板(工件)所收集到的离子流是靶电流的10—15％。