金刚石涂层的钛振动膜

摘要

一种金刚石涂层的声学器械的钛振动膜，其特征在于钛振动膜上涂覆金刚石涂层，钛振动膜也可为球形面。该振动膜材料刚性好，内部损失因素较好，是一种高灵敏度和频响范围向高频方向展宽25％的振膜材料，灵敏度比涂覆金刚石前提高3～6dB，频响范围展宽5kHz，频响范围达到2.2kHz～25kHz，其制造工艺简单，是一种理想的振动膜。