用于在处理腔中对物体进行退火的装置和方法

摘要

本发明涉及用于对物体(2、15)进行退火的一种装置(1)和一种方法。在此按本发明使用暂时的过程盒(11)，由此在投资成本低的同时克服了以往已知的退火的缺点，尤其实现了退火的高的可再现性和高的产量，从而在总体上以非常有利的成本实现退火过程。