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迫流内装式液氦低温冷凝泵

摘要

本发明公开了一种迫流内装式液氦低温冷凝泵,包括有多组基于相同原理的结构单元和端头固定板系统。结构单元由防辐射挡板、冷凝面、冷凝面悬吊线、氮管和氦管组成。氮管和氦管中流动的工作介质以迫流方式提供。多组结构单元构成圆筒形,布置于工作区域内,两端由端头固定板系统封住。端头固定板系统包括端头固定圆环、若干组端头固定板盖板和端头固定板滤板。实际使用过程中,本内装式液氦低温冷凝泵非常适合在极其复杂的电磁环境下使用,工作稳定可靠且具有优越的气体负荷适应能力。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-03-01

    未缴年费专利权终止 IPC(主分类):F04B37/08 授权公告日:20160406 终止日期:20180307 申请日:20140307

    专利权的终止

  • 2016-04-06

    授权

    授权

  • 2014-07-30

    实质审查的生效 IPC(主分类):F04B37/08 申请日:20140307

    实质审查的生效

  • 2014-07-02

    公开

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