防反射膜、光学系统、光学设备以及防反射膜的成膜方法

摘要

提供一种具有从可见光到红外区域(波长范围400nm～1600nm)的频带的防反射膜。交替层叠高折射率物质和折射率比高折射率物质低的低折射率物质，在最表层上层叠折射率比低折射率物质低的超低折射率物质而构成为12层。从基板侧起按顺序在第1、3、5、7、9、11层上层叠有高折射率物质，在第2、4、6、8、10层上层叠低折射率物质，在第12层上层叠有超低折射率物质。