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准平行光远距离动态重合度的自准直测量方法及装置

摘要

本发明提供一种能够实现角度的精确跟踪测量的准平行光远距离动态重合度的自准直测量方法及装置。其步骤:(a)在测量点安装重合度测量装置,发出发散角0.5~2mrad准平行光;(b)在目标点放置角锥棱镜,反回光经重合度测量装置的物镜汇聚并成光点像于像距V处,重合度测量装置中的光电转换元件接收反回光,即可测量出像点O处的位置值t;(c)当角锥棱镜在光斑范围内运动时,其线位移ΔL使反回光束偏离主光轴,重合度测量装置中的光电转换元件可测量得到t

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2016-03-30

    授权

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  • 2014-01-22

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01C1/00 申请日:20130909

    实质审查的生效

  • 2013-12-25

    公开

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