公开/公告号CN103399561B
专利类型发明专利
公开/公告日2016-03-23
原文格式PDF
申请/专利权人 上海华力微电子有限公司;
申请/专利号CN201310354696.3
申请日2013-08-14
分类号
代理机构上海思微知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人陆花
地址 201203 上海市浦东新区高科技园区高斯路568号
入库时间 2022-08-23 09:36:54
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-03-23
授权
授权
2013-12-18
实质审查的生效 IPC(主分类):G05B19/418 申请日:20130814
实质审查的生效
2013-11-20
公开
公开
机译: 基板搬送方法,包括该基板搬送方法的基板搬送装置以及具有包括该基板搬送装置和基板处理装置的基板搬送装置的基板处理装置
机译: 自动搬送装置和使用该搬送装置的钢材料搬送方法
机译: 挠性光盘搬送体,光盘搬送装置及光盘搬送方法