公开/公告号CN104040676B
专利类型发明专利
公开/公告日2016-03-16
原文格式PDF
申请/专利权人 株式会社日立高新技术;
申请/专利号CN201280065865.5
申请日2012-12-20
分类号
代理机构中科专利商标代理有限责任公司;
代理人张莉
地址 日本东京都
入库时间 2022-08-23 09:36:55
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-03-16
授权
授权
2014-10-15
实质审查的生效 IPC(主分类):H01J37/147 申请日:20121220
实质审查的生效
2014-09-10
公开
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