扫描型观察装置和扫描型观察装置的图像显示方法

摘要

提供能够更加简便地校正照明光学系统的倍率色像差的扫描型观察装置。该扫描型观察装置(10)通过致动器(25)使照明光偏转而经过照明光学系统(26)来扫描被照射物(32)，利用光检测部(44)对来自被照射物(32)的光进行光电转换并利用图像处理部(46)进行处理而在显示部(60)上显示被照射物(32)的图像，该扫描型观察装置(10)具有：存储部(35)，其对光学特性信息进行保存，该光学特性信息与照明光学系统(26)针对多个规定的色光的倍率色像差相关；以及扫描轨迹运算部45，其根据光学特性信息对每个色光在被照射物(32)上的扫描轨迹进行运算，图像处理部(46)根据扫描轨迹按照每个色光对来自光检测部(44)的光电转换信号的描绘位置进行校正而生成被照射物(32)的图像。