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用于设计用于真空环境的线性电机的系统和方法

摘要

一种用于设计用于真空环境的线性电机的系统和方法。所述线性电机包括芯部和壳体。芯部包括多个冷却板和夹在多个冷却板之间的多个电线圈。芯部还包括定位在多个电线圈和多个冷却板之间的多个导热环氧树脂层,以及设置在多个电线圈和多个冷却板之间以确定多个电线圈和多个冷却板之间的距离的多个垫片。独立地并且在被组装到壳体内之前组装和测试芯部。壳体包围芯部,并且包括主体、多个馈通结构和盖。

著录项

  • 公开/公告号CN102594084B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2016-03-16

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 ASML控股股份有限公司;

    申请/专利号CN201110450010.1

  • 发明设计人 E·佐丹;

    申请日2011-12-29

  • 分类号H02K41/02(20060101);H02K15/00(20060101);G03F7/20(20060101);

  • 代理机构11021 中科专利商标代理有限责任公司;

  • 代理人吴敬莲

  • 地址 荷兰维德霍温

  • 入库时间 2022-08-23 09:36:35

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2016-03-16

    授权

    授权

  • 2014-01-29

    实质审查的生效 IPC(主分类):H02K41/02 申请日:20111229

    实质审查的生效

  • 2012-07-18

    公开

    公开

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